디원 설비는 Plasma System을 적용하여 전자Film의 표면개질(surface modification) / 탄화물질제거(de-smear) /미세가공(Etching) / 세정(cleaning)등의 공정을 1 batch에서 자동으로 진행하기 위한 Roll To Roll 방식의 MICRO WAVE PLASMA SYSTEM입니다.
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